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기술명 [KBSI]1m 급 대면적광학표면 초미세 결함 검사용 UV 현미경
기술보유기관 한국기초과학지원연구원
연구자 김건희
기술완성도 6단계 - 시제품 성능평가
사업화 희망유형 기술이전
기술거래조건 통상실시권: 협상 후 결정

기술개요

 

○ 대면적 광학표면에 존재하는 초미세 결함 및 패턴 측정을 고해상도 UV현미경

○ 가시광선보다 파장이 짧은 자외선 활용 UV현미경

○ 1m급 광학표면, 200nm 공간 분해능 성능 보유

○ 미세표면 측정결과의 정량적 수치 측정 가능

○ 광학부품 미세 표면 검사용 및 반도체 검사 장비, 바이오 분야 고해상도 현미경 활용 가능

○ 자유형상 광부품 가공 기술, UV용 고해상도 대물렌즈 등 개발 완료

○ 자유형상 광학계 초정밀 가공 공정 기술을 활용한 맞춤형 대물렌즈 제작 가능